[1]熊鹤林.纳米芯片厂高洁净度洁净室设计与施工技术[J].武汉职业技术学院学报,2012,(01):98-100.
　XIONG He-lin.On Design and Construction of Clean Rooms of High Cleanliness in 90 nm Chipset Plant[J].Journal of Wuhan Polytechnic,2012,(01):98-100.
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纳米芯片厂高洁净度洁净室设计与施工技术()
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《武汉职业技术学院学报》[ISSN:1006-6977/CN:61-1281/TN]

卷:
期数:
2012年01期
页码:
98-100
栏目:
出版日期:
2012-02-15

文章信息/Info

Title:
On Design and Construction of Clean Rooms of High Cleanliness in 90 nm Chipset Plant
文章编号:
1671-931X （2012） 01-0098-03
作者:
熊鹤林
武汉花山生态新城投资有限公司，湖北武汉430076
Author(s):
XIONG He-lin
Huashan Ecological New Town Investment Company of Wuhan, Wuhan430076, China
关键词:
纳米芯片; 洁净室; 华夫板楼盖; 净化空调
Keywords:
cleanliness;  clean room;  waffle slab;  cleaning air conditioner
分类号:
TN405;TU834
文献标志码:
A
摘要:
芯片厂的建设对厂房洁净室的要求很高。武汉新芯集成电路厂是目前国内已经投产的芯片厂中生产工艺最先进的,其洁净室面积也是国内同类厂房中洁净面积最大的厂房,本文结合武汉新芯集成电路厂的建设实例,介绍了高洁净度洁净室设计与施工的一般方法。
Abstract:
The chipset plant usual demands higher cleanliness rooms. Wuhan Xinxin chipset plant owns the most advanced production lines and the largest clean rooms among the similar plants in China. Taking the clean rooms in Wuhan Xinxin chipset plant as an example, the paper introduces the common method of designing and constructing clean rooms of high cleanliness.

备注/Memo

备注/Memo:
收稿日期：2011-12-10 作者简介：熊鹤林（1970-），男，湖北浠水人，硕士研究生，武汉花山生态新城投资有限公司，研究方向：建筑工程管理。
更新日期/Last Update: 2012-02-15